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玻璃基板自動上下料系統
以機械手臂自卡匣(Cassette)中取出玻璃基板,放置於輸送機或製程設備,達成工序間轉換,進行投片或反向收片作業。
系統內容包括 Cassette Station(port )、Robot、Robot Booth及電控軟硬體等,並結合 Area Sensor、Ionizer、及FFU等,確保安全、除靜電以及系統之潔淨等級。