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玻璃基板自動上下料系統

以機械手臂自卡匣(Cassette)中取出玻璃基板，放置於輸送機或製程設備，達成工序間轉換，進行投片或反向收片作業。

系統內容包括 Cassette Station（port )、Robot、Robot Booth及電控軟硬體等，並結合 Area Sensor、Ionizer、及FFU等，確保安全、除靜電以及系統之潔淨等級。