FPD 無塵室輸送機

G3.5～G10.5 Inline Conveyor，依type區分：

● STCV：Straigit Conveyor

● TUCV: Turn Conveyor

● TUST: Turn Stage

● TUTA: Turn Table

● TRCV: Traverse 或 Cross Conveyor

● EVCV：Elevator Conveyor

● EVTR：Elevator Traverse Conveyor

● BFCV：Buffer Conveyor

● Chganger：Cassette Changer 或LD/ULD Conveyor

● Flipper Conveyor

因應製程需求，實施落地型或高空輸送機的串連，可依客戶需求結合氣浮模組及其它功能裝置，確保製程間玻璃基板的穩定、安全輸送。